FBAR相关论文
随着无线通信技术的飞快发展及5G时代的来临,集成化,小型化成为无线射频终端的发展趋势。微机电(MEMS)体声波谐振器作为目前唯一能......
提出了一种基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的差分Colpitts振荡器.相比于传统Colpitts振荡器,该差分Colpitts振荡器移除了尾电流源,减......
ACPF-7024和ACPF-7025是一组高选择性的带通滤波器,为下一代4G WiMAX/LTE语音通信以及无线频带/蓝牙数据网络提供优异的语音或数据......
用射频(RF)反应磁控溅射法,在硅基片上制备出了具有较低表面粗糙度、C轴择优取向的AlN压电薄膜.讨论了溅射功率对AlN压电薄膜结构......
薄膜体声波谐振器(FBAR)技术,是一种基于声体波谐振的新技术。当一交变射频电压施加于两电极之间时,在压电薄膜内形成交变电场。通......
介绍了一种单端口,端口阻抗为50Ω的S波段宽带薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器,该滤波器采用网格型结构的FBAR滤波器芯片级联巴伦芯......
当前,随着大数据与人工智能浪潮的来临,数据成了其发展至关重要的基石。而传感器是人们获取数据的主要途径。传统的传感器由于检测......
Two-Dimensional Coupling Vibration Analysis of Laterally Acoustically Coupled Two-Port Thin-Film Bul
In this paper,we present an approach to studying the mode coupling vibrations in two-port thin-film bulk acoustic wave r......
安捷伦科技宣布，其目前每月下线的FBAR（薄膜腔声谐振器）双工器已经突破100万大关。这种通信器件比传统的陶瓷双工器小50%~80%，可以在无......
该文介绍了薄膜体声波谐振器(FBAR)的基本原理和几种主要结构.讨论了FBAR薄膜生长的工艺过程,并给出了本实验各层薄膜的生长条件,......
In this paper, we describe a high-performance TD-SCDMA bandpass filter based on film bulk acoustic resonator (FBAR) tech......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
高次模薄膜体声波谐振器（HBAR）具有简单的半导体工艺特性和良好的高频特性能，在分析HBAR结构和工作模式的基础上，用MBVD模型在ADS上仿......
从四类压电方程入手推导了六角晶系压电薄膜的FBAR横模的阻抗特性，分析了产生横模的原因，并基于此用ANYSYS进行了有限元仿真，分析了方......
薄膜体声波谐振器（FBAR）采用一种先进的谐振技术，它是通过压电薄膜的逆压电效应将电能量转换成声波而形成谐振，这一谐振技术可以用来制......
专利申请号：CN200910152608．5公开号：CN101666672申请日：2009．09．10公开日：2010．03．10申请人：浙江大学 本发明公开了一种基于FBAR的微质量检......
采用射频反应磁控溅射制备了高C轴取向的AIN薄膜．在分析Berg迟滞模型的基础上，提出并实现了一种以氮气流量控制反应进程、以阴极电压......
提出了基于时域有限差分方法对薄膜体声波谐振器进行数值分析的新方法。利用时域有限差分法理论对压电材料的控制方程,牛顿方程和......
为了模拟薄膜声体波谐振器（FBAR）的电磁场（EM）分布特性，提出了一种新的FBAR建模方法．该方法从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方......
采用射频网络法分析了ZnO薄膜体声波谐振器的谐振特性，并考虑了介质声损耗对品质因数Q值的影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了......
薄膜体声波谐振器（FBAR）是优良的射频频率器件。用基本Mason模型对FBAR器件进行建模,并分析阐述了FBAR射频滤波器的结构和设计方法。......
薄膜体声波滤波器（FBAR）传感器的性能受结构和材料特性的影响很大。该文利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件,建立了FBAR传感器的......
固体装配型薄膜体声波谐振器（FBAR）机械强度好,尺寸小,可在硅片上三维立体集成,灵敏度大,在未来的通信设备制作高带通滤波器和物联网......
2018年7月9日上午,四川省绵阳市政府与诺思（天津）微系统有限公司签署战略合作协议：诺思（绵阳）微系统基地项目落户绵阳,总投资128亿元,年......
介绍了一种薄膜体声波谐振器和它的制备流程。该谐振器采用氧化锌压电薄膜作为压电材料，通过从硅片背部体刻蚀硅衬底的方法得到谐振......
AFEM-S257模块集合多种高性能技术来缩小PCB板尺寸，同时简化设计和制造过程。利用Avago专有的0．25μmGaAs增强模式PHEMTT艺和前沿的F......
薄膜体声波谐振器（FBAR）不仅能作为手机射频前端的滤波器,还具有充当传感器表头的潜力。为实现对体声波（BAW）传感器输出射频信号的检测......
研究了初应力对压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸模态谐振特性的影响.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR......
和表面波器件相比,薄膜体声波谐振(FBAR)器件重量轻、尺寸小、成本低而且能够处理的功率大.因此,FBAR技术被认为是能够满足现代移......
介绍了AIN薄膜体声波（FBAR）传感器以及信号处理电路的原理，着重设计了传感器的频率检测电路。频率检测电路采用VHDL语言对各个电路子......
FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）薄膜体声波谐振器作为谐振器领域的重要分支，比声表面波滤波器（SAWF）、陶瓷介质滤波器具有更高的Q......
近期，东南大学射频与光电集成电路研究所（射光所）王志功教授团队的王科平副研究员在集成电路与微机电系统（MEMS）协同设计方面取得重要进......
提出了基于时域有限差分方法对薄膜体声波谐振器进行数值分析的新方法。利用时域有限差分法理论对压电材料的控制方程和牛顿方程在......
虽然全球手机市场仍然以每季单位数字的速度增长,智能手机的出货量却持续激增,随着新一代手机的推出,智能手机可以在不需要大幅度......
In this paper, we describe a high-performance TD-SCDMA bandpass filter based on film bulk acoustic resonator (FBAR) tech......
通过在AlN薄膜体声波谐振器上引入压电缓冲层和外部电阻抗来调节谐振器的频率特性，在考虑了缓冲层和外部电阻抗后，得到薄膜谐振器的......
采用射频反应磁控溅射法，制备了用于薄膜体声波谐振器的（002）取向的氮化铝薄膜。氮化铝薄膜为（002）取向为主混合少量（103）取向。氮化铝薄......
薄膜体声波谐振器（FBAR）以其工作频率高、体积小、便于集成和低插损等优良特性而得到广泛应用，对薄膜体声波器件理论设计与优化的研究......
无线传感器网络是目前国际上一个前沿热点研究领域。它的学科交叉性强，知识集成度高，受关注程度也很高。传感器网络中的各个节点要求......
介绍了薄膜体声波（FBAR）滤波器的基本原理、结构及其性能特点,对国外产业界的研究进展及市场情况进行了概述,并对国内在该领域内的研......
本文基于FBAR（薄膜体声波谐振器）技术的专利文献，介绍了FBAR技术的组成和分支，对该技术领域的重要申请人以及其专利申请情况做了介绍，并......
设计了一种侧向场激励剪切波模式的薄膜体声波(FBAR)压力传感器,利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件构建了传感器的三维模型并......
随着对薄膜体声波谐振器(FBAR)器件性能要求的增高,FBAR器件参数的精确测试变得十分关键,该文从测试夹具结构以及对测试夹具的去嵌......
由FBAR组成的BAW滤波器能够满足目前高性能射频前端滤波的要求,是一种全新的射频滤波器解决方案。基于XX机构给出的技术指标,结合......
近年来,随着智能手机和平板电脑不断地走进人们的生活,基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的滤波器和双工器在无线移动通信系统中应用广泛......
薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种新颖的基于压电效应的射频MEMS器件,因其具有谐振频率和质量灵敏度高,尺寸小以及与CMOS工艺兼容等特......
